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| 品牌BUSCH | 有效期至长期有效 | 最后更新2021-03-24 16:50 |
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BUSCH 螺杆真空泵选型参考
BUSCH 螺杆真空泵
先进的螺丝设计
高效：
经济高效，维护最少，正常运行时间长
灵活：
面向应用
流程时间短：
由于抽速高
坚固：
内部组件上有防腐蚀涂层
设计紧凑
COBRA DS 0080/0160 G是成熟的COBRA DS系列中的干螺杆真空泵。即使在要求高氢气通过量的条件下，它们的高抽速也使COBRA DS螺杆真空泵成为光伏电池，平板显示器和半导体生产中所有苛刻过程的理想选择。最先进的COBRA DS螺杆真空泵技术可将粉状和颗粒状介质排空。
COBRA DS干式螺杆真空泵具有干式压缩，专门开发的螺杆轮廓和无阻碍的气体排放。结果是高度的蒸汽和颗粒耐受性。螺钉由一体式铸件制成，避免了任何间隙，从而使过程流体或颗粒无法进入，从而防止了腐蚀。
配备高效电机，COBRA DS 0080/0160 G具有出色的能源效率。由于维护需求低，运营成本低，正常运行时间长且生命周期长，因此总拥有成本非常低，因此在此性能级别中树立了标准。
由于采用了就地安装设计，因此可以快速，轻松地将这些螺杆真空泵改装为现有系统。
应用领域
高密度等离子CVD（HDP-CVD）
快速热处理（RTP）
低于大气压CVD（SACVD）
金属有机CVD（MOCVD）
等离子增强CVD（PECVD）
低压CVD（LPCVD）
原子层沉积（ALD）
技术说明
技术规格COBRA DS气缸
内的两个螺杆转子沿相反方向旋转。泵送的介质被截留在气缸和螺旋腔之间，被压缩并输送到出气口。在压缩过程中，螺杆转子不会相互接触
其他或圆柱体。因此，在压缩室中不需要润滑剂或工作流体。COBRA DS系列真空泵使用高效的间接水冷技术，可在整个泵体内实现可控的温度分布，并能够响应工艺变化。先进的螺杆设计可实现极高的抽氢速度。
尺寸
COBRA DS 0080/0160 G
抽速
空气在20°C。公差：±10％ 50赫兹 60赫兹
| 技术参数 | COBRA DS 0080 G | COBRA DS 0160 G |
|---|---|---|
| 额定抽速 | 70立方米/小时 | 140立方米/小时 |
| 极限压力 | 0.03（3·10 -2） hPa（毫巴） | 0.03（3·10 -2） hPa（毫巴） |
| 电机额定功率 | 4.0千瓦 | 5.5千瓦 |
| 电机额定转速 | 3000分钟-1 | 3000分钟-1 |
| 极限压力时的功耗 | 2.6千瓦 | 4.3千瓦 |
| 噪声等级 (ISO 2151) | <62分贝（A） | <68分贝（A） |
| 用水量 | 4.0升/分钟 | 4.0升/分钟 |
| 氮气消耗量 | 0-75升/分钟 | 0-75升/分钟 |
| 重量（约） | 276公斤 | 338公斤 |
| 尺寸（长 x 宽 x 高） | 865 x 385 x 667毫米 | 975 x 425 x 697毫米 |
| 进气口/排气口 | DN 40 / DN 40 | DN 50 / DN 40 |
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