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physikInstrumente纳米定位压电弯曲平台

    

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品牌physikInstrumente 有效期至长期有效 最后更新2020-12-24 18:14
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physikInstrumente纳米定位压电弯曲平台

一、品牌介绍
PI是运动和定位领域解决方案的全球领先供应商。
 
PI不仅针对线性,旋转和垂直运动或不同轴的组合开发和生产各种定位平台和执行器。PI还使这些解决方案适应客户特定的应用,或提供用于运动和定位的成品子系统。
 
二、产品用途
在许多应用领域中必须达到最大定位精度。半导体制造,显微镜,表面测量技术,生物技术,医学工程和自动化技术通常需要具有纳米级分辨率和可重复性的定位系统。除此之外,还要求响应时间短,真空兼容的设计和在宽温度范围内的功能。
三、产品分类
纳米定位压电弯曲平台
微型舞台
线性平台
线性执行器
旋转台
xy平台
四、产品介绍
1、纳米定位压电弯曲平台
PI的压电挠性位移台将亚纳米分辨率和导向精度与最小的串扰相结合。这使其特别适合于计量学,超分辨率显微镜,干涉测量或半导体芯片生产检查系统中的应用。压电挠性位移台可用于毫秒级的精确定位和动态扫描,在高达6个自由度的情况下可达几百赫兹。
 
专有传感器设计,无摩擦挠性导板和长寿命PICMA®压电执行器的独特结合,使机械性能出色且坚固耐用。压电运动控制器支持定位和扫描性能优化,并且可以轻松地通过数字或模拟接口进行集成,并进行舒适的编程。
1.1、多轴电挠性位移台
PI的多轴压电挠性位移台可在多达6个轴上以亚纳米级的精度进行定位和扫描,包括尖端,倾斜和偏航运动。版本范围从最紧凑的立方体设计到大孔径和薄型。
 
XYZ扫描仪是定位技术的全方位工具。应用包括样品调整,技术,光学计量,光纤定位和光子学以及原子力显微镜。
 
所有压电纳米定位系统均已出厂校准,并随测量记录一起提供。
1.2、用于显微镜的PIFOC®物镜和PInano®样品扫描仪
PIFOC®和PInano®系列的压电挠性位移台和物镜扫描仪在定位和扫描任务方面具有很高的动态性。标准产品提供了适用于XY样品平行于和垂直于光轴定位以及物镜Z聚焦的解决方案。
 
平台也可以在系统中方便地与控制器,所有必需的连接电缆和软件一起使用。像所有压电系统一样,显微镜载物台和扫描仪也已通过测量记录进行了预校准。
1.3、线性压电挠性位移台
PI的纳米定位平台和扫描仪将纳米精度的分辨率和引导精度与最小的串扰相结合。这使得它们特别适合于计量,微观过程,干涉测量或半导体芯片生产检查系统中的参考应用。
 
带有PICMA®压电执行器驱动器和挠性导轨的线性压电平台可用于最大1.5 mm的行程。
1.4、XY压电挠性位移台
高精度2轴纳米定位系统集成了PICMA®压电执行器,以实现最大的可靠性。通过使用高质量的纳米计量传感器,可以实现具有最佳稳定性的可重复,无漂移定位。
 
用于小负载的2轴压电扫描仪通常用于扫描和跟踪过程。它们的快速步进运动提高了光学系统的分辨率。这些包括相机技术中的成像过程和图像识别,例如用于生物识别或文档存档
1.5、压电挠曲倾斜镜
压电挠曲镜平台的高刚度可实现高动态性能和出色的位置稳定性。紧凑的设备经常用于激光加工和激光转向中的光束偏转。他们的平行运动设计在尖端和倾斜轴上具有相同的性能,具有共同的固定枢轴点,并且偏振方向不变。 
physikInstrumente纳米定位压电弯曲平台
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