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德国PI 微型线性平台Q-521 Q‑Motion®微型线性平台

特点：

·         宽度仅21毫米，高度仅10毫米

·         带有集成增量编码器的直接位置测量

·         编码器分辨率高达1 nm

·         最小增量运动可达2 nm

·         带转接板或支架的多轴系统设置（可选）

·         可根据要求提供 10 ^-6 hPa的真空版本

压电惯性驱动

压电惯性驱动器是节省空间且价格合理的基于压电的驱动器，具有相对较高的夹持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个压电致动器，该压电致动器由特殊驱动器电子设备提供的修改后的锯齿电压进行控制。执行器缓慢膨胀并移动流道。由于其惯性，转轮无法跟随执行器的后续快速收缩，并保持在其位置。驱动器的最高工作频率为20 kHz，直接作用在转轮上并达到最大速度。6毫米/秒

真空

 可根据要求提供10 ^-6 hPa的真空版本。

直接测量原理

线性位移台配有非接触式测量光学线性编码器和参考开关。分辨率为4 nm或1 nm，具体取决于版本。

应用领域

微型装配，光子学，光学对准，显微镜，光束线仪器，半导体技术，测试