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德国PI XYZ压电弯曲扫描仪P-611.3NanoCube®XYZ压电系统

特点：

·         行程范围为120 µm×120 µm×120 µm

·         超紧凑：44毫米×44毫米×44毫米

·         分辨率至0.2 nm

·         快速响应行为

·         零间隙，高精度挠曲导向系统

·         PICMA®压电执行器，使用寿命长

·         快速扫描

·         带集成光纤支架的版本

·         特别便宜的系统

应用领域

·         光子学/集成光学

·         显微操作

·         生物技术

·         半导体测试

·         光纤定位

零游隙挠性导轨，导向精度高

挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们是100％真空兼容的，并且可以在宽温度范围内工作。

PICMA®压电执行器，使用寿命长

获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和泄漏电流增加引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。事实证明，没有单一故障的1000亿次循环。